“恩樂科”品牌小流量二氧化碳發泡機（嵌入式）

產品功能：

二氧化碳發泡機，又稱co2 bubbler(超純水防靜電裝置、二氧化碳鼓泡機)，去離子水電阻率調節裝置，加碳機等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳， 在水中產生適量的離子增強純水的導電性，降低純水的電阻率，防止在晶圓劃片制程、芯片清洗等半導體、TFT加工過程中產生靜電損傷產品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈， 最后烘干后二氧化碳揮發不殘留任何雜質，不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設備，可有效控制微電子工業生產制程中的靜電危害，防止靜電吸附導致產品因靜電放電受到損傷， 防止靜電破壞和微粒子的表面附著，大大提高產品良品率，降低生產成本。

設備原理： 
本公司經過多年的研發和試驗，生產ELK 系列超純水防靜電裝置，本裝置全部采用進口優質材料和儀表，設計原理是通過膜接觸器來實現超純水的潔凈CO2 無污染注入。膜接觸器的特點是氣體可以透析式穿過膜表面均勻溶解到水里，而水和微粒雜質卻很難透過膜。用這種特制膜將CO2 氣體和超純水隔開， 通過設備中的精密調節裝置可以控制CO2 在水中的溶解量， 從而實現精確控制水的電阻率。產品水的電阻率可以很方便且精確地調整到0.1-2MΩ?cm范圍內。此產品可以消除產品表面產生的靜電對產品造成靜電吸附污染、靜電放電損傷等危害，大大提高了產品的良品率。該產品廣泛應用于微電子和半導體行業。 

流量：10L/H -3000L/H   用于劃片機、清洗機配套。   ELK-1AP  、 ELK-2AP   、ELK-3AP