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EL缺陷測試儀的工作原理和成像原理是什么?
時間:2023-04-12
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EL測試儀是通過對電池片通入1-40mA的正向電流,作用于擴散結(jié)兩邊,電能把處于基態(tài)的原子進行激發(fā),使其處于激發(fā)態(tài),處于激發(fā)態(tài)的原子不穩(wěn)定,進行自發(fā)輻射。通過濾波片的作用及底片的曝光程度來了解在自發(fā)輻射中本征躍遷的情況,通過少子壽命、密度與光強間的關(guān)系,從底片的曝光程度,來判斷硅片中是否存在缺陷。
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