二氧化碳發泡機配件 CO2 調節器 CO2 REGULATAE CELL，超純水防靜電裝置專用，CO2 bubbler CO2 REGULATAE

深圳恩樂科半導體晶圓切割劃片清洗用二氧化碳發泡機CO2 bubbler二氧化碳加碳機超純水電阻調節裝置、超純水防靜電裝置的主要用途： 一是晶圓切割劃片時帶有靜電，靜電吸附了硅屑，清洗不干凈。 二是清洗的產品本身有堿性物質，要在微酸性水中和才能去除，又不能有別的離子進入，所以需要注入純凈的CO2。配套劃片機和超聲波清洗機.型號：ELK-500L、ELK-1000L、 ELK-2000L、 ELK-3500L、ELK-5000L、ELK-7000L、ELK-100000L

CO2bubbler又名二氧化碳發泡機是一種超純水防靜電裝置，能夠提高超純水的導電性，降低電阻率，避免在晶圓劃片過程中靜電積聚，消除硅屑、陶瓷屑的靜電吸附。有效控制生產制程中的靜電危害，避免靜電吸附導致產品因靜電放電而受損，降低靜電破壞和微粒子的附著，提高產品良品率，降低生產成本。設備名稱：CO2發泡機、CO2bubbler、超純水防靜電裝置

超純水防靜電裝置，又稱co2 bubbler(二氧化碳發泡機、二氧化碳鼓泡機)，去離子水電阻率調節裝置，加碳機等等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳， 在水中產生適量的離子增強純水的導電性，降低純水的電阻率，防止在劃片制程、清洗等半導體、TFT加工過程中產生靜電損傷產品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈， 最后烘干后二氧化碳揮發不殘留任何雜質，不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設備，可有效控制微電子工業生產制程中的靜電危害，防止靜電吸附導致產品因靜電放電受到損傷， 防止靜電破壞和微粒子的表面附著，大大提高產品良品率，降低生產成本。

恩樂科CO2 bubbler 二氧化碳發泡機 超純水防靜電裝置ELK-8000L，用于半導體晶圓劃片、清洗消除產品靜電，防止產品靜電損傷。可以采用1拖10臺劃片機的工作方式，大大降低用戶成本。

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