恩樂科晶圓切割劃片清洗用二氧化碳發(fā)泡機(jī)CO2 bubbler ELK-2000L超純水防靜電裝置
深圳恩樂科半導(dǎo)體晶圓切割劃片清洗用二氧化碳發(fā)泡機(jī)CO2 bubbler二氧化碳加碳機(jī)超純水電阻調(diào)節(jié)裝置、超純水防靜電裝置的主要用途:
一是芯片切割劃片時帶有靜電,靜電吸附了硅屑,清洗不干凈。
二是清洗的產(chǎn)品本身有堿性物質(zhì),要在微酸性水中和才能去除,又不能有別的離子進(jìn)入,所以需要注入純凈的CO2。配套劃片機(jī)和超聲波清洗機(jī)使用。
型號:ELK-1000L ELK-2000L ELK-3500L ELK-5000L ELK-7000L ELK-100000L